Википедия
Микрозонд — прибор для проведения рентгеноспектрального микроанализа .
Принцип действия микрозонда следующий: генерируется пучок электронов , который собирается электромагнитными линзами в узкий пучок — электронный зонд. Попадая в образец электроны выбивают электроны с оболочек атомов вещества, и генерируют характеристическое рентгеновское излучение . Каждый элемент излучает на характерном для него наборе частот, и может быть по нему идентифицирован. Концентрации элементов определяются по интенсивности излучения.
В настоящее время микрозонд обычно является вариантом растрового электронного микроскопа , оптимизированного для рентгеноспектрального анализа. Поэтому большинство микрозондов может выполнять также функции электронного микроскопа.