Википедия
Гетероэпитаксия (англ. heteroepitaxy; от — «иной», «различный» и «эпитаксия») — вид эпитаксии , когда растущий слой отличается по химическому составу от вещества подложки . Процесс возможен только для химически не взаимодействующих веществ: например, так изготавливают интегральные преобразователи со структурой кремний на сапфире .